Author: 123

Специализация: 010700/03 Физика конденсированного состояния
Программа: 24 Электроника наносистем
Руководитель программы: д. ф.-м. н. проф. А.С. Шулаков
Кафедра электроники твердого тела
Научный руководитель: д. ф.-м. н. проф. А.М. Шикин
Рецензент: д. ф.-м. н. проф. Г.Г. Владимиров

Графен на Ni (111) с интеркалированным слоем Cu, сформированный на кремниевой подложке
Магай Виктория Сергеевна

Графен – это однослойная двумерная аллотропная модификация углерода с гексагональной   кристаллической решёткой, благодаря своим уникальным физическим свойствами является одним из перспективных современных конструкционных материалов  в области наноэлектроники  и спинтроники.  
За  время, прошедшее с момента открытия и исследования первых образцов тонких пленок графена, было  разработано достаточно большое число разнообразных методик его синтеза. Один из наиболее перспективных - это крекинг пропилена C_3H_6 на поверхности Ni. Преимущество метода в том, что реакция крекинга на монокристалле является самоограниченной и формируется только один монослой графена, после чего реакция останавливается. Однако таким способом графен формируется на металлической подложке, а для целей электроники при изготовлении электронных устройств на основе графена более предпочтительной является полупроводниковая или диэлектрическая подложка.
Цель данной работы – исследовать, каким образом данную методику можно использовать в том случае, если в качестве подложки не металл, а кремний, то есть основа сегодняшней микроэлектроники. Основной вопрос, который мы ставим перед собой: возможно ли сформировать графен путем крекинга пропилена на тонком слое никеля, напыленным на кремниевую подложку. Для того чтобы уменьшить очевидную реакцию силицидообразования, поверхность кремния предварительно была окислена, после чего электронным распылением нанесли слой никеля.
В процессе работы были решены  две задачи: формирование графена на поверхности Ni (3000 Å) и Ni (1700Å) с помощью крекинга пропилена и интеркалирование Cu в полученную систему. Для этого эксперименты проводились в условиях сверхвысокого вакуума с использованием поверхностно-чувствительных методов анализа, оже-электронной спектроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. 

Список публикаций
Нет публикаций