Направление: 011200 Физика
Профиль: Физическая оптика и лазеры
Кафедра: оптики
Научный руководитель: доцент А.А. Кудрявцев
Рецензент: проф. Ключарев А.Н.

Диагностика плазмы короткого тлеющего разряда в гелии с помощью MFPA современной автоматизированной зондовой схемы.
Ань Цзюньвей

Тлеющий разряд постоянного тока является объектом постоянного внимания, поскольку широко используется в практических приложениях и является удобным физическим объектом для научных исследований. Плазма  тлеющего разряда используется в источниках света, плазменных дисплеях, катодном распылении металлов для нанесения тонких плёнок, а так же в плазменной электронной спектроскопии.  Столь широкое применение тлеющего разряда, обуславливает постоянный исследовательский интерес к нему. В частности, к такой недостаточно изученной прикатодной области тлеющего разряда, которая включает в себя катодный слой, отрицательное свечение и фарадеево темное пространство. Именно прикатодная область ответственна за обеспечение самостоятельности разряда; без нее разряд не может существовать. Однако, несмотря на столь долгую историю изучения тлеющего разряда физические процессы в прикатодной области до сих пор остаются недостаточно изученными, а без четкого понимания процессов, происходящих в этой области, невозможно прогнозировать режимы работ новейших газоразрядных приборов. В частности, это относится к методу плазменной электронной спектроскопии и созданию газоанализатора на его основе. 
	В ходе данной работы была проведена диагностика плазмы короткого (без положительного столба) тлеющего разряда в гелии при различных значениях давления газа и тока разряда с помощью современной автоматизированной зондовой схемы MFPA. Были проведены систематические зондовые измерения короткого тлеющего разряда в области плазмы отрицательного свечения. Измерения проводились для двух разрядых трубок:
1)	маленькая трубка (small) c радиусами электродов 0.5 cm и межэлектродным расстоянием 0.5 см при давлениях 5.2 Torr и 10.2 Torr.
2)	Большая трубка (big) c радиусами электродов 1.5 cm и межэлектродным расстоянием 1.0 см при давлениях 2.0 Torr и 5.0 Torr.
Отработанная методика измерения Вольт-амперная характеристика (ВАХ) разряда зондвая ВАХ позволяет измерять первые и вторые производные зондового тока по потенциалу зонда.  Проведен расчёт основных параметров плазмы короткого тлеющего разряда, таких как функция распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ), концентрация и температура электронов и потенциал плазмы. На ФРЭЭ, отвечающих быстрым электронам обнаружены особенности в виде максимумов, соответствующие спектрам электронов, родившихся в результате реакции пеннинговской ионизации. Показано, что по этим пикам возможно проводить идентификацию газовой смеси.

Список публикаций:
1.	An Junwei, Ning Zhongxi, Liu Hui, Yu Daren Overview of heatless cathode, The 8th Chinese Electric Propulsion Conference 17-18th October 2012, Beijing,China 
2.	Ruihai Song1*, Shufeng Zhang1, Mingzhi Zhang1, Junwei An2 Simulation of Electron Cyclotron Resonance (ECR) plasma based on multi-physics field coupling（1Beijing Institute of Orient Measurement and Test, Beijing 100029,China）（2 Saint Petersburg State University, Saint Petersburg, Russia）The 8th Chinese Vacuum Conference 7th-9th Novermber 2014, Guangzhou, China
3.	An Junwei The Measurements of the Electron Temperature in the Microplasma Detectors Ples Using Wall Electrode - Probe International Workshop "Nonlinear Photonics: Theory, Materials, Applications",29th June-02nd  July 2015, Saint-Petersburg, Russia